01 背景介紹
納米微孔金屬氧化膜露點傳(chuan) 感器是美國菲美特(phymetrix)公司於(yu) 2007 年推出的一款測量氣體(ti) 濕度用的電容型傳(chuan) 感器，其***為(wei) Bedros 先生。能夠在‐110℃～+20℃的露點溫度範圍內(nei) 快速準確地測量氣體(ti) 及液體(ti) 中的水分含量。
傳(chuan) 統的氧化鋁傳(chuan) 感器，其代表行為(wei) 上世紀90 年代由Bedros 先生在考撒-深特（cosaxentaur）公司推出的超薄膜 (HTF™) 氧化鋁技術，為(wei) 原GE下屬的巴納（panametrics）及其他公司如特利丹（teledyne）、仕富梅（Servomex）等廣泛應用。
另有英國肖氏（shaw）及其派生公司在上世紀60年代研究的Shaw Moisture Meters 及英國米希爾公司的陶瓷氧化鋁傳(chuan) 感器。
02 產(chan) 品比較
公司
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菲美特
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深特
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肖氏
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米希爾
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原理
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納米微孔金屬氧化膜
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超薄膜 (HTF™) 氧化鋁
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氧化鋁
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陶瓷氧化鋁
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露點測量範圍
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-110°C～+20°C
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-100°C～+20°C
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-100°C～+20°C
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-100°C～+20°C
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準確度
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±2°C
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±3°C
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±3°C
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±3°C
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相對響應時間
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快
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中等
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快
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慢
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線性
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全量程準確
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全量程準確
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-60以下偏差大
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全量程偏差大
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03 美國菲美特露點儀的技術優勢
基本原理
導電的金屬基片和多孔金層作為(wei) 的電容的兩(liang) 個(ge) 極板，中間 是多空的金屬氧化膜。電容的大小取決(jue) 於(yu) 極板的大小、極板之間的距 離和極板之間絕緣體(ti) 的介電常數。除了介電常數之外的兩(liang) 個(ge) 因素都是固定值，傳(chuan) 感器周圍的氣體(ti) 會(hui) 進入到傳(chuan) 感器微孔之中，其中水分的高 介電常數使傳(chuan) 感器的介電常數發生很大變化，並且這介電常數的變化 主要是由進入氧化膜微孔中的水分引起的，即使是氣體(ti) 中的水分含量變化幅度很小。
獨特的結構
納米微孔結構設計使傳(chuan) 感器在水分含量非常少的情況下 利用針對於(yu) 水分的毛細管作用使傳(chuan) 感器內(nei) 外達到平衡時，內(nei) 外的水分濃度成指數比例，因此即使傳(chuan) 感器外的水分含量變化很小，傳(chuan) 感器的電容變化也會(hui) 很大，這個(ge) 電容的變化量足以讓儀(yi) 器檢測到，因此使傳(chuan) 感器能夠具有更寬廣的測量範圍（‐110～+20℃dp），並且響應更靈敏，漂移量更小，耐用性更好。
►美國菲美特公司的露點分析儀采用納米薄膜同軸電容法原理，測試氣體中水份含量，是世界上*先進的技術。
►納米傳感器具有吸附大量水分子的能力，露點可測低至 ‐110℃dp；
►菲美特公司校準實驗室可為每台儀器執行 NIST 校準證書標準，保證其精度為± 2℃dp；
►通過傳感器幹燥室存儲機製，響應時間還可以進一步加快，十分鍾可以得到測試趨勢讀數；
►內置的溫度傳感器和可選壓力傳感器可進行校準補償，保證測量的一致性和重複性；
►納米薄膜進一步保證數據漂移量更小，從而解決了常規電容法測量濕度的難題。
